西安钨钛合金靶材规格
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产品描述

品名WTi 是否危险化学品 杂质含量0.05 主要金属含量99.95 产地株洲
密度
9.3~13.2
导热系数
20.9~62.8
热膨胀系数
7.0~6.06
洛氏硬度
92.5~89.5
抗弯强度
900~1400Mpa
弹性磨量
400~600
熔点(碳化物)
3413(k)
软化温度
1573(k)
电阻率
不同温度电阻率不同,一般不计
西安钨钛合金靶材规格
由于合金靶材的纯度关系到溅射薄膜的性能,靶材的纯度越高,碳杂质含量越低,加工工艺通常采用惰性气体保护降低碳杂质的影响。为实现高机械性能与工艺性能,需尽量提高合金的纯度,对碳元素含量的检测要求相应提高
西安钨钛合金靶材规格
金属钨 与 金属 Ti 通过粉末冶金的方式 制备的合金材料,通常有W-10Ti at% 主要应用于集成电路的薄膜制程
西安钨钛合金靶材规格
一般说
来,在颗粒大小等其实条件相等的条件下,碳化钨的含量百分比越高,硬质合金所表现出的硬度就越高,这意味着它的耐磨性更高。但同时也意味着它的钴的含量百分比较低,表现为韧性较低,耐冲击性较低。就目前的技术来说,颗粒细化、涂层、梯度合金(主要指富钴层)等一些技术可以在维持原有韧性的同时适当提高一些耐磨性,但就同样采用了这些技术的产品来说,基本规律并没有变化。

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