南宁钨钛合金靶材

液态钛简直能溶解一切的金属，因而能够和多种金属构成合金。钛参加钢中制得的钛钢坚韧而赋有弹性。钛与金属Al、Sb、Be、Cr、Fe等生成填隙式化合物或金属间化合物

以高纯度W和Ti制成的合金。常用的成分为含10%Ti的W-10Ti。......和钛粉经混合、压制和特殊的烧结工艺或用真空热压、热等静压等工艺制成。用作**大规模集成电路薄膜工艺中的溅射靶。钨钛薄膜具有良好的导电性和耐蚀性。

由于合金靶材的纯度关系到溅射薄膜的性能,靶材的纯度越高,碳杂质含量越低,加工工艺通常采用惰性气体保护降低碳杂质的影响。为实现高机械性能与工艺性能,需尽量提高合金的纯度,对碳元素含量的检测要求相应提高

密度
9.3～13.2
导热系数
20.9～62.8
热膨胀系数
7.0～6.06
洛氏硬度
92.5～89.5
抗弯强度
900～1400Mpa
弹性磨量
400～600
熔点（碳化物）
3413(k)
软化温度
1573(k)
电阻率
不同温度电阻率不同，一般不计

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