苏州钨钛合金靶材报价

W-Ti合金具有良好的热稳定性、低的电子迁移率、高的抗腐蚀性及化学稳定性等优势,特别适合在高温和高电流环境下使用,因而成为了金属布线扩散阻挡层的主导材料之一

以高纯度W和Ti制成的合金。常用的成分为含10%Ti的W-10Ti。......和钛粉经混合、压制和特殊的烧结工艺或用真空热压、热等静压等工艺制成。用作**大规模集成电路薄膜工艺中的溅射靶。钨钛薄膜具有良好的导电性和耐蚀性。

由于合金靶材的纯度关系到溅射薄膜的性能,靶材的纯度越高,碳杂质含量越低,加工工艺通常采用惰性气体保护降低碳杂质的影响。为实现高机械性能与工艺性能,需尽量提高合金的纯度,对碳元素含量的检测要求相应提高

一般说
来，在颗粒大小等其实条件相等的条件下，碳化钨的含量百分比越高，硬质合金所表现出的硬度就越高，这意味着它的耐磨性更高。但同时也意味着它的钴的含量百分比较低，表现为韧性较低，耐冲击性较低。就目前的技术来说，颗粒细化、涂层、梯度合金(主要指富钴层)等一些技术可以在维持原有韧性的同时适当提高一些耐磨性，但就同样采用了这些技术的产品来说，基本规律并没有变化。

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